用于制备具有低氧含量的铜电沉积物的添加剂

摘要

本发明涉及一种用于制备铜电沉积物的铜电镀浴。该铜电镀浴包含(a)可溶的铜盐、(b)包含一种以上的酸的电解质、以及(c)包含烷基、芳基或烷基芳基二胺的晶粒细化添加剂。该铜电镀浴可用于制备具有低氧含量的电铸铜沉积物。