提供绝热耦合的聚合物波导阵列和硅波导阵列的对准

摘要

一种提供绝热耦合的聚合物波导阵列和硅波导阵列的对准。对准形成在聚合物上的（单模）聚合物波导（PWG）阵列与形成在硅（Si）芯片上的硅波导（SiWG）阵列。并且因此实现绝热耦合。使高精度形成的端头和高精度形成的凹槽用作绝对的定位基准以提供根据凹槽和端头的自对准。在通过光刻图案化的PWG中，采用多个掩模，但是沿着对准基线（用于掩模）进行形成，并且因此相对于误差δx实现高精度。在通过纳米压印图案化的PWG中，也相对于误差δx和δy实现形成上的高精度。