一种高硬度TiAlZrN/CrN纳米多层涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高硬度TiAlZrN/CrN纳米多层涂层及其制备方法；所述纳米多层涂层由多个TiAlZrN层和CrN层构成，各TiAlZrN层和CrN层交替沉积在基体上形成纳米量级多层结构，其总厚度为2.4～5.8μm；所述纳米多层涂层的制备方法为首先将基体表面抛光处理，经超声波清洗和离子清洗后，再采用反应溅射法在基体上交替溅射TiAlZrN层和CrN层。本发明具有高硬度和高弹性模量，其最高硬度和最高弹性模量分别可达47.2 GPa和486.2GPa，由于CrN层的插入使涂层具有良好的耐蚀性，可广泛作用于切削刀具、模具等零件的保护性涂层，其制备方法具有工艺简单、沉积速度快、成本低、结合强度高等优点。