一种基于微机械电子技术的微波移相器

摘要

本发明公开了一种基于微机械电子技术的微波移相器，它包括分布参数传输线（1）、电容驱动器（3）和介质基片（2），电容驱动器（3）设于介质基片（2）上，电容驱动器（3）一端通过U型梁（9）与分布参数传输线（1）的地相连，另一端与驱动电源相连，交指电容（8）均匀的加载在信号线（7）与地之间，形成分布参数传输线（1）。本发明具有以下优点：通过交指电容驱动器产生静电力，使分布参数传输线的地发生位移，进而使交指电容的电容量发生相应的变化，信号的相位也发生改变，当驱动电压连续变化时，实现相位的连续变化及无限个相位状态，结构简单，控制方便。