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一种具有双层纳米碳涂层的场发射阴极及制备方法

摘要

本发明提供了一种具有双层纳米碳涂层的场发射阴极及制备方法,首先将纳米金刚石通过电泳沉积的方法涂覆在基底上,形成纳米金刚石涂层;然后将纳米碳管通过电泳沉积的方法涂覆在纳米金刚石涂层上,形成纳米碳管涂层;最后在热丝化学气相沉积系统中热处理使基底与纳米金刚石涂层发生化学键合反应,得到化学键合层。得到具有基底——化学键合层——纳米金刚石涂层——纳米碳管涂层的四层结构的场发射阴极,该场发射阴极兼备纳米碳管与纳米金刚石的优点,具有良好的场发射特性及场发射稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN104701115B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-04-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 西北大学;

    申请/专利号CN201510059967.1

  • 申请日2015-02-05

  • 分类号

  • 代理机构西安恒泰知识产权代理事务所;

  • 代理人李婷

  • 地址 710069 陕西省西安市太白北路229号

  • 入库时间 2022-08-23 09:55:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-19

    授权

    授权

  • 2015-07-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 1/304 申请日:20150205

    实质审查的生效

  • 2015-06-10

    公开

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