双层金属上电极Pt-Ag对场助热电子发射阴极发射性能的影响

摘要

实验研究了采用双层金属上电极Pt-Ag相对于单层金属上电极Au，对金属-绝缘体-半导体-金属（MISM）场助热电子发射阴极发射性能方面的改善，并讨论了双层金属上电极各层金属厚度、退火处理对其发射性能的影响。通过优化Pt-Ag上电极内层Pt膜厚度制备的阴极样品，其电子发射率退火前为1．8×10-4，退火后提高到7．2×10-4。