用于光刻设备投影物镜的像质补偿机构

摘要

本发明公开一种用于光刻设备的折反射物镜像质补偿机构，其特征在于，其中包括：像质补偿机构，用于补偿投影像质。较之现有技术方案，本发明能够实现：1、能同时检测补偿反射镜反射表面的面型与温度；2、在对补偿镜面型进行控制的同时，可以检测当前反射表面面型，进行闭环控制提高调整精度；3、本发明提供的方案可以直接检测反射表面的面型再在背后补偿，从而不需要如上述专利所提出的需要复杂的蜂巢状结构。