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张德福; 孙振;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
光刻投影物镜; 位移缩小机构; 完全解耦; 波像差;
机译:设计11纳米极紫外光刻节点的投影物镜
机译:高数值孔径EUV光刻八镜投影物镜的分组设计
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机译:基于狭缝膜片弯曲的光刻物镜精确调整机构的设计与分析
机译:高级光刻胶材料的设计和研究:减少环境影响的正性光刻胶和用于157 nm光刻的材料。
机译:可见光投影立体光刻在设计架构的实时牢房 - 脚手架制造中的应用
机译:光刻物镜设计中的鞍点构造,第1部分:方法
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机译:设计用于EUV的微光刻投影曝光设备的投影物镜和光学调整投影物镜的方法
机译:设计用于微光刻投影曝光设备的euv投影透镜,以及用于投影物镜的光学调节的方法
机译:用于微光刻投影曝光系统的物镜,设计用于在照明系统指定的宽带波长光谱下操作,其中透镜围绕中心波长延伸
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