法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
授权
授权
2015-05-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 15/00 申请日:20150113
实质审查的生效
2015-05-06
公开
公开
机译: 用于微特征设备测试的推进器组件,具有推进器组件的系统以及使用这种推进器组件的方法
机译: 用于微特征设备测试的推进器组件,具有推进器组件的系统以及使用这种推进器组件的方法
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