形成具有响应于外部刺激的有源区域的半导体管芯的方法

摘要

本发明涉及形成具有响应于外部刺激的有源区域的半导体管芯的方法。半导体器件具有第一半导体管芯，该第一半导体管芯包括在第一半导体管芯的表面上形成的有源区域。第一半导体管芯的有源区域可包括传感器。密封剂沉积在第一半导体管芯上方。导电层在密封剂和第一半导体管芯上方形成。绝缘层可以在第一半导体管芯上方形成。开口在有源区域上方的绝缘层中形成。透射层在包括有源区域的第一半导体管芯上方形成。透射层包括光学电介质材料或者光学透明或半透明材料。有源区域响应于穿过透射层的外部刺激。多个凸块贯穿密封剂形成并且电连接到导电层。第二半导体管芯毗邻第一半导体管芯布置。