单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构及方法

摘要

本发明涉及单体真空镀膜领域，具体涉及单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构及方法。该机构包括底板，设置于底板上的闭环运送机构和驱动该闭环运送机构的驱动机构，闭环运送机构上设有通过闭环运送机构运送的旋转组件，旋转组件的外侧上设有随旋转组件转动的三个以上的支杆，旋转组件上设有用于固定载片的固定组件，底板上闭环运送机构的一侧上还设有用于阻挡该支杆的阻挡组件。本发明通过使用闭环运送，能达到所有载片能固定的位置，并且通过将载片放置在转轴上，通过转轴上的支杆与挡块及档杆相互配合，可实现载片自动转动任意角度，从而解决现有技术中无法自动翻转的问题，从而达到正反面镀膜能在真空条件下一次性完成，成膜质量高。