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掩模制造装置及利用激光束制造掩模的方法

摘要

本发明公开一种掩模制造装置及利用激光束制造掩模的方法。一种掩模制造装置,其包括激光照射器、平台、框架和散热片。激光照射器将激光束分为多道子激光束并将子激光束照射到被放置在平台上的阴影掩模。框架设置在平台上来支撑阴影掩模。散热片接触阴影掩模材料,吸收从阴影掩模产生的热并将该热排出到阴影掩模的周围。因此,避免了阴影掩模过热。

著录项

  • 公开/公告号CN103962719B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星显示有限公司;

    申请/专利号CN201410026058.3

  • 发明设计人 李道炯;赵俊豪;

    申请日2014-01-21

  • 分类号

  • 代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司;

  • 代理人胡江海

  • 地址 韩国京畿道龙仁市

  • 入库时间 2022-08-23 09:54:14

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-12

    授权

    授权

  • 2016-02-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/064 申请日:20140121

    实质审查的生效

  • 2014-08-06

    公开

    公开

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