法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/02 授权公告日:20170412 终止日期:20190317 申请日:20140317
专利权的终止
2017-04-12
授权
授权
2017-04-12
授权
授权
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20140317
实质审查的生效
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20140317
实质审查的生效
2014-09-17
公开
公开
2014-09-17
公开
公开
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