既存半導体製造施設向け機器免震装置の開発（その 2） 製造装置実機による振動台実験結果

摘要

半導体製造装置実機(以下製造装置)を用いて、(その1)で示した建屋地震応答波を用いた振動台実験を行った。本報では実験結果及びシミュレーション解析結果を示す。