有抗反射膜的塑料光学器件和使抗反射膜厚度均一的机构

摘要

在其塑料底料(10)的表面上涂有抗反射膜(10)的塑料光学器件中，此抗反射膜是多层膜，由先在此底料(10)的一侧淀积高折射材料的第一层(131)继以低折射材料的第二层再交迭地叠层以这些高、低折射材料而成。光学透镜底料(10)的表面有曲率，有多个这样的底料(10)水平地设置于可沿水平方向转动的圆盘支座(26)上。所用溅射膜淀积系统包括面对底料(10)表面的靶(31)。沿连接支座(26)的周边部与中央部的方向并在靶(31)与支座(26)之间设有起到掩模件作用的膜厚校正板以调节膜厚差。