盘状物的夹持装置及盘状物的旋转平台

摘要

本发明公开了一种盘状物的夹持装置，包括夹持部、升降部、升降执行器；其中，所述夹持部包括环状体的可动基座；所述可动基座可上下运动且圆周方向上分布多个夹紧件，所述夹紧件的下方设有与之相配合用于承载盘状物的支撑件，所述夹紧件与所述支撑件之间可相对垂直运动；所述升降部的下端连接用于驱动所述升降部上下运动的升降执行器；所述升降部的上端控制所述可动基座的上下运动；本发明通过升降部的上下运动控制夹紧件与支撑件之间的距离从而实现硅片的打开和闭合。本发明在现有电磁悬浮平台的基础上提供了一种新型的夹持装置，其运动方式简便，方便机械手臂取放硅片并夹持硅片使硅片在悬浮平台上保持高速旋转。