公开/公告号CN104508798B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-08
原文格式PDF
申请/专利权人 古河电气工业株式会社;
申请/专利号CN201380039073.5
申请日2013-07-24
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人黄纶伟
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:52:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-08
授权
授权
2015-05-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/301 申请日:20130724
实质审查的生效
2015-04-08
公开
公开
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