首页> 中国专利> 图案化碳纳米管阵列的制备方法及碳纳米管器件

图案化碳纳米管阵列的制备方法及碳纳米管器件

摘要

本发明提供一种图案化碳纳米管阵列的制备方法,包括以下步骤:提供一转移至代替基底表面的碳纳米管阵列,该碳纳米管阵列靠近该代替基底的表面为第二表面,远离该代替基底的表面为第一表面,该碳纳米管阵列的形态能够使得一碳纳米管结构从该碳纳米管阵列中连续地拉出,该碳纳米管结构包括多个首尾相连的碳纳米管;通过在碳纳米管阵列的该第一表面进行激光刻蚀,将该碳纳米管阵列划分为两部分,分别为保留区域和去除区域;以及通过从该去除区域拉取碳纳米管结构的方式去除该去除区域中的碳纳米管,并保留该保留区域的碳纳米管。本发明还提供一种碳纳米管器件。

著录项

  • 公开/公告号CN105197875B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201410274924.0

  • 发明设计人 魏洋;魏浩明;范守善;

    申请日2014-06-19

  • 分类号B81C1/00(20060101);B82Y40/00(20110101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

  • 入库时间 2022-08-23 09:52:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-15

    授权

    授权

  • 2016-01-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20140619

    实质审查的生效

  • 2015-12-30

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号