DNA探针阵列合成和探测用的光开关阵列组合及其制造方法

摘要

一种用于DNA探针阵列进行光引导合成和杂交DNA探针阵列光激发探测的光开关阵列组合，包括硅片，光开关阵列，驱动电路和选址电路，光束引导孔，硅片，和DNA阵列。光开关工作基于法布里-珀罗空腔模式，该腔体由微机械加工形成，其由空气层隔开的两面平行镜子由介质薄膜构成。光开关选择性开启后引入光束照射玻璃片上的合成位置，从而得以进行光引导合成DNA探针。光开关选择性开启后引入光束照射玻璃片上的杂交DNA探针，激发杂交的DNA探针发射出荧光，从而得以对杂交的DNA探针进行光探测。