公开/公告号CN102265411B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-11
原文格式PDF
申请/专利权人 住友电气工业株式会社;
申请/专利号CN200980152161.X
申请日2009-07-24
分类号H01L31/10(20060101);H01L21/203(20060101);H01L21/205(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人陈海涛;樊卫民
地址 日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:19:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-11
授权
授权
2012-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/10 申请日:20090724
实质审查的生效
2011-11-30
公开
公开
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