校准坐标测量机数学模型以补偿变形导致动态误差的方法

摘要

本发明涉及校准坐标测量机数学模型以补偿变形导致动态误差的方法。一种校准数学模型以补偿由测量机的动态变形导致的误差的方法，该测量机配备有能够在测量空间内移动触针探头的移动单元，其中该模型响应于与所述驱动装置(13)的控制信号相关的至少一个输入量来提供多个输出量，所述输出量包括由变形引入的测量误差的至少一个分量以及至少一个由激光传感器检测到的并与变形相关的量。在校准步骤中，移动单元经受遵循正弦运动规律的、保持探头的末端被阻挡的、由可变频率的小幅值振荡构成的运动周期；在该运动周期期间，输入量和输出量被采样，并被提供给用于模型辨识的算法。