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制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件的方法

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摘要

本发明涉及一种制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件（31，41，61，91）的方法。根据本发明，所述方法（1）包括在单个高度上的LIGA工艺以及对直接在衬底（2）上的LIGA沉积物进行机加工的工艺。

著录项

公开/公告号CN103979483B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-01-18

原文格式PDF
申请/专利权人尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司;
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申请/专利号CN201410049720.7
发明设计人 A·弗辛格;M·斯特兰策尔;
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申请日2014-02-13
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人高美艳
地址瑞士勒洛克勒
入库时间 2022-08-23 09:51:17

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-01-18

授权

授权
2014-09-10

实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20140213

实质审查的生效
2014-08-13

公开

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