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曲面法矢测量精度的计算方法

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摘要

本发明提供了一种曲面法矢测量精度的计算方法，其包括步骤：S1，计算菱形布局距离传感器在截面YOZ中的误差：用截面YOZ截取待测曲面获得待测曲线，建立二维法矢测量误差模型，并将二维法矢测量误差δ

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-01-04

授权

授权
2016-01-27

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01B 21/00 登记生效日:20160108 变更前: 变更后: 申请日:20140618

专利申请权、专利权的转移
2016-01-27

著录事项变更 IPC(主分类):G01B 21/00 变更前: 变更后: 申请日:20140618

著录事项变更
2014-09-24

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/00 申请日:20140618

实质审查的生效
2014-08-27

公开

公开

1. 曲面法矢测量精度的计算方法 [P] . 中国专利： CN104006781B . 2017.01.04
2. 曲面法矢测量精度的优化方法 [P] . 中国专利： CN104019779B . 2016.09.21
3. METHOD OF MANUFACTURING PATTERNED STAMP FOR PATTERNING CONTOURED SURFACE, PATTERNED STAMP FOR USE IN IMPRINT LITHOGRAPHY PROCESS, IMPRINT LITHOGRAPHY METHOD, ARTICLE COMPRISING PATTERNED CONTOURED SURFACE AND USE OF A PATTERNED STAMP FOR IMPRINT LITHOGRAPHY [P] . TR201909168T4 . 2019-07-22

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