带有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构的晶圆透镜阵列模具及其制备方法

摘要

本发明涉及一种带有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构的晶圆透镜阵列模具及其制备方法，晶圆透镜阵列模具由硅或锗材料制作，模具表面均匀分布着微型透镜凹陷曲面型模且形成阵列；每个凹陷曲面型模表面分布有仿蛾眼随机阵列纳米凹陷结构，纳米凹陷结构的尺寸和相邻间距呈随机分布，纳米凹陷结构的底部直径为10‑100nm，顶部直径为50‑300nm，相邻纳米凹陷结构的中心间距为100‑500nm，纳米凹陷结构的高度为100‑1500nm；采用晶圆透镜阵列模具批量制备的每个聚合物材料晶圆微透镜片，其表面皆具有二维随机阵列仿蛾眼纳米凸起结构，无需镀增透膜即可达到可见光波段的宽光谱减反效果，极大地简化了工艺流程。