法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
授权
授权
2013-03-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20110630
实质审查的生效
2012-02-08
公开
公开
机译: 叠层膜的生产方法叠层膜的生产方法与采用相同器件的半导体器件的生产方法
机译: 介电膜及其形成方法,半导体器件,非易失性半导体存储器件以及半导体器件的生产方法
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