公开/公告号CN104039530B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 空中客车德国运营有限责任公司;
申请/专利号CN201280066533.9
发明设计人 伊莎贝尔·格拉德特;
申请日2012-12-06
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人潘炜
地址 德国汉堡
入库时间 2022-08-23 09:50:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
授权
授权
2014-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):B29C 59/04 申请日:20121206
实质审查的生效
2014-09-10
公开
公开
机译: 用于在基材表面上生产具有微结构化外表面的层的工具
机译: 用于生产在基材表面上具有微结构化外表面的层的工具和方法
机译: 用于在基底表面的部分上产生材料层的腔室,用于原子层和化学气相沉积,具有形成为辐射源的加热源,通过该加热源可以逐步改变基底表面上的温度