公开/公告号CN102590630B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201210052007.9
发明设计人 范象泉;
申请日2012-03-01
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2022-08-23 09:49:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-14
授权
授权
2014-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 27/14 申请日:20120301
实质审查的生效
2014-04-30
专利申请权的转移 IPC(主分类):G01R 27/14 变更前: 变更后: 登记生效日:20140408 申请日:20120301
专利申请权、专利权的转移
2012-07-18
公开
公开
机译: 测试探针和半导体器件的制造方法,使用探针的探针器件,根据该探针的半导体器件的测试方法以及已由该探针测试的半导体器件
机译: 半导体芯片测试探针卡及其半导体芯片测试方法
机译: 半导体装置的参数测试方法