真空高低温半导体器件测试探针台及半导体器件测试方法

摘要

一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括真空腔、防辐射屏、样品台、探针臂；真空腔用于形成密封测试环境；所述防辐射屏用于阻挡外界对样品台的辐射，位于所述真空腔中；所述样品台用于放置样品，位于所述防辐射屏中；所述探针臂包括探针针杆以及位于所述探针针杆末端的探针，所述探针针杆穿过所述真空腔、防辐射屏，使所述探针伸入样品所在位置以进行点针。本发明还公开一种半导体器件测试方法，使用如上所述的真空高低温半导体器件测试探针台。本发明提供的半导体器件测试探针台及半导体器件测试方法，通过设置真空腔、防辐射屏等结构，能够有效的营造一个集成高温、低温、真空等测试环境，能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。