微型定量供给泵和用于制造微型定量供给泵的方法

摘要

本发明涉及一种微型定量供给泵和一种它的制造方法，该泵包括带有泵室的泵室基底，设置在泵室基底一侧上的柔性的膜，它流体密封地覆盖泵室，设置在泵室基底的第二侧上的至少一个流体管路，使得流体可以流入和流出泵室，带有至少一个流体通流孔的可转动的阀盘，它布置在泵室内并且被设计成用于通过转动来封闭流体管路和经由流体通流孔来打开流体管路，永久磁化的或可磁化的致动器盘，它经至少一个弹簧弹性的元件与阀盘这样地耦合，使得致动器盘的转动导致阀盘的转动，其中，弹簧弹性的元件将阀盘和致动器盘相互顶开，带有磁性的泵柱塞杆的、用于使膜运动以吸入或排出流体的驱动单元，其设计成用于转动永久磁化的或可磁化的致动器盘。