用于保持真空封闭装置中的高真空的方法和系统

摘要

本发明提供了一种系统（1），系统（1）用于保持真空封闭装置（举例说明，例如低温恒温器）（2）中的高真空。该系统包括高真空泵（3），高真空泵（3）具有连接到低温恒温器（2）的输入（6）和输出（8）。真空容器（4）连接到高真空泵（3）的输出（8）。第二真空泵（5）能连接到真空容器（4）。系统进行操作，使得高真空泵（3）将低温恒温器（2）保持于高真空并且第二真空泵（5）进行周期性操作，以保持真空容器（4）的压力低于阈值压力。第二真空泵（5）可以永久性地连接到真空容器（4）或者可以是从真空容器（4）可移除的。真空容器（4）用于将高真空泵（3）的输出（8）保持在合适的压力范围内。这消除了对高真空泵（3）的输出连接到连续操作的、第二级真空泵的需要。此外，为了保持真空容器（4）中的压力低于阈值压力，只需要第二真空泵（5）进行周期性操作。