机译:保持装置用于在真空室中保持载体或组件,使用保持装置,用于在真空室中保持载体或组件,用于在真空室中处理载体的装置,以及真空沉积系统
公开/公告号US2021335640A1
专利类型
公开/公告日2021-10-28
原文格式PDF
申请/专利号US201816478045
发明设计人 MATTHIAS HEYMANNS;
申请日2018-07-26
分类号H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;B25J9/02;B25J9/10;C23C14/50;C23C14/04;C23C14/12;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:57:08