公开/公告号CN102971807B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-11-09
原文格式PDF
申请/专利权人 独立行政法人科学技术振兴机构;
申请/专利号CN201180034573.0
申请日2011-07-08
分类号H01B13/00(20060101);C01G55/00(20060101);H01B5/14(20060101);H01L21/28(20060101);H01L21/288(20060101);H01L21/336(20060101);H01L29/786(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人庞立志;孟慧岚
地址 日本埼玉县
入库时间 2022-08-23 09:48:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01B 13/00 授权公告日:20161109 终止日期:20180708 申请日:20110708
专利权的终止
2016-11-16
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01B13/00 变更前: 变更后: 申请日:20110708
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-11-16
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01B 13/00 变更前: 变更后: 申请日:20110708
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-11-09
授权
授权
2016-11-09
授权
授权
2013-04-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01B13/00 申请日:20110708
实质审查的生效
2013-04-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01B 13/00 申请日:20110708
实质审查的生效
2013-03-13
公开
公开
2013-03-13
公开
公开
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机译： 导电性氧化物的制造方法，导电性氧化物膜的制造方法，导电性氧化物，导电性氧化物膜以及导电性氧化物的分散液
机译： 包含主要基元的有机金属前体和有机金属化合物的有机金属前体组合物，使用该组合物的金属或金属氧化物膜或图案的形成方法，以及通过该方法制备的膜或图案
机译： 用于形成含锆膜的新型前体化合物，用于形成包含相同膜的含锆膜的组合物以及使用它们作为前体来形成含锆膜的方法
