适用于高基频MESA晶片测试的装置及测试方法

摘要

本发明是一种适用于高基频MESA晶片的测试装置及测试方法，其结构包括A、B二个金属电极（测试电极），其中B金属电极2接触并支撑水晶片的待测试MESA区域，而A金属电极1与水晶片的MESA区域之间存有一个5~10μm的悬浮缝隙，在A、B两个金属电极之间串接一个电场、CNA300型网络分析仪。本发明的优点：“悬浮”感应的方式来测试高基频MESA水晶片的频率，以避免传统的“接触式”测试的方法带来的水晶片破损问题，测试过程，可以最大程度的避免在测试过程中所造成的水晶片物理损坏。用CNA300型网络分析仪监控水晶片的振动频率，以测得水晶片的真实频率；可广泛应用于高基频MESA晶片的测试过程。