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公开/公告号CN103210476B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-10-12
原文格式PDF
申请/专利权人 栗田工业株式会社;
申请/专利号CN201180055008.2
发明设计人 中马高明;川胜孝博;北见胜信;森田博志;
申请日2011-11-11
分类号
代理机构隆天知识产权代理有限公司;
代理人张永康
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 09:48:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-10-12
授权
2013-12-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20111111
实质审查的生效
2013-07-17
公开
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