一种自对准栅极结构纳米线冷阴极电子源阵列的制作方法及其结构

摘要

本发明公开了一种自对准栅极结构纳米线冷阴极电子源阵列的制作方法，通过一次光刻定位栅极槽和纳米冷阴极的生长区域，实现纳米线冷阴极与栅极电极和阴栅极之间的绝缘层的对准，并自动形成可以防止阴极和栅极之间短路和电学击穿的绝缘层台阶。本方法可以降低工艺难度，提高器件的制作成品率，并提高栅极结构纳米线冷阴极电子源的工作特性。