一种基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置及其溯源方法

摘要

本发明提供一种基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置及其溯源方法，包括：电磁补偿天平，用于测量微小力值；载荷柱，安装在电磁补偿天平的中部，其顶部设有接触片；微动台，通过悬臂梁安装杆与被测微悬臂或微力传感器相连，用于使被测微悬臂或微力传感器能沿Z轴作直线运动；悬臂位置粗调单元，与微动台相连，用于实现微动台在X轴、Y轴、Z轴方向位移调整，在X轴、Y轴方向的角度调整；在溯源方法中利用电磁补偿天平刚度、被测微悬臂的安装角度修正悬臂弹性常数，或利用微力传感器的安装角度修正微力传感器力值灵敏度。本发明提高了被测微悬臂或微力传感器定位的准确度，对悬臂弹性常数、微力传感器力值灵敏度进行修正，以使结果更准确。