电容耦合等离子体处理装置中的喷头电极组件

摘要

本发明公开了一种电容耦合等离子体处理装置中的喷头电极组件，具体涉及用在电容耦合等离子体处理装置中包括传热板的喷头电极组件。该传热板具有独立可控的气体容积空间，该气体容积空间可被增压以局部控制加热器构件和冷却构件之间的热导率，使得可在喷头电极组件的暴露于等离子体的表面上形成均匀的温度。