一种振动式硅微机械陀螺正交误差闭环补偿电路

摘要

本发明公开了一种振动式硅微机械陀螺正交误差闭环补偿电路，陀螺检测信号经放大和滤波后分两路进入同步解调电路：一路由锁相环产生的参考信号进行解调，经低通滤波后得角速度信号；另一路由锁相环产生的参考信号相移90度后进行解调，经低通滤波后，提取出检测信号中的正交误差信号的电压幅值并经过积分电路得到反馈控制电压；该电压经过单双转换电路，被驱动检测电容调制到驱动频率上，产生反馈电流补偿检测轴方向上的正交位移电流，进而消除检测信号中的正交误差量，最终得到纯净的角速度。本发明通过反馈补偿微陀螺检测轴方向上的正交位移电流的方法来消除角速度检测环路中的正交误差量，实现了振动式硅微机械陀螺正交误差的高精度闭环补偿。