首页> 中文会议>第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 >叉指式硅微机械陀螺的闭环驱动电路研究

叉指式硅微机械陀螺的闭环驱动电路研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文从叉指式硅微机械陀螺的器件结构角度分析了陀螺驱动信号和检测信号的关系,得出了陀螺的理想驱动信号必须满足的条件,由此提出了叉指式微机械陀螺的闭环驱动方式并设计了总体电路结构,总结了陀螺闭环驱动电路的优点以及设计难点.

著录项

来源
《第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会》|2005年|317-320|共4页
会议地点北京
作者
莫冰; 刘晓为; 谭晓昀; 张宇峰; 肖诗满; 史增博;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类陀螺仪表;设计、分析、计算;
关键词
陀螺仪表; 驱动电路; 电路结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 电容式微机械陀螺双环路闭环驱动电路研究 [J] . 谭晓昀 ,雷龙刚 ,王冠石 . 传感技术学报 . 2010,第010期
2. 振动测量用叉指式硅微加速度计性能研究 [J] . 杜敏 ,林玮 ,路鹏 . 地震工程与工程振动 . 2007,第6期
3. 硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究 [J] . 熊幸果 ,邹强 ,陆德仁 . 功能材料与器件学报 . 1998,第2期
4. 叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析 [J] . 南昊 ,田露 . 今日科苑 . 2010,第020期
5. 叉指微加速度计的设计与闭环检测研究 [J] . 张洪震 ,吴学忠 ,肖定邦 . 微计算机信息 . 2007,第014期
6. "叉指式"硅微加速度计研究 [C] . 孙洪强 ,谢海龙 ,王岩 . 2003年惯性仪表与元件学术交流会 . 2003
7. 闭环叉指式电容微机械加速度计动态性能研究及优化 [A] . 曾建 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号