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具有改进击穿电压的场效应晶体管和形成这种场效应晶体管的方法

摘要

本文提供了具有改进击穿电压的晶体管和形成所述晶体管的方法。在一个实施方案中,形成晶体管的方法包括以下步骤:通过用第一掺杂物类型掺杂半导体形成第一类型半导体来形成漏极(10)和源极(8),所述漏极和所述源极彼此隔开,其中,所述漏极包括具有第一掺杂物浓度且与第二漏极区(204)相邻的第一漏极区(202),使得所述第二漏极区的至少一部分位于所述第一漏极区和所述源极之间,以及还包括通过掺杂所述半导体形成位于所述漏极和所述源极中间的第二类型半导体来形成中间区(200),所述中间区与所述第二漏极区隔开。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-09-28

    授权

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  • 2013-07-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/10 申请日:20110922

    实质审查的生效

  • 2013-06-05

    公开

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