改善光学微影制程解析度的方法

摘要

一种改善光学微影解析度的方法。本发明的方法包括在底材上形成一层被蚀刻的蚀刻层、一无机光阻层旋涂在被蚀刻的蚀刻层上以及原子层在无机光阻层上。接着，利用深紫外光通过照射到无机光阻层使得在无机光阻层形成产生酸分子。接下来，利用酸分子将原子层催化并且具有活性的氧原子进行原子层的氧化作用而形成氧化物。经氧化作用之后，可以得到氧化层图案且容易进行蚀刻步骤。