法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-17
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/34 变更前: 变更后: 申请日:20130205
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-08-31
授权
授权
2016-08-31
授权
授权
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20130205
实质审查的生效
2014-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20130205
实质审查的生效
2014-08-06
公开
公开
2014-08-06
公开
公开
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