磁控溅射制备ITO、IWO、SCOT、SRE薄膜及其在SHJ太阳电池的应用

摘要

介绍了SHJ太阳电池研究背景、高效SHJ太阳电池用TCO薄膜研究进展、光电性能研究及应用，应用于高效SHJ太阳电池的TCO薄膜需要进一步关注薄膜制备方法、特别是初期成膜方式对界面的影响。