一种碳化硅纳米线的流化床化学气相沉积制备方法

摘要

本发明提供了一种碳化硅纳米线的流化床化学气相沉积制备方法，通过控制流化管的加热方式，使其在竖直方向自上而下依次形成上部低温区、中部高温区和下部低温区；催化剂颗粒在流化气体作用下于下部低温区和中部高温区进行流化，并在中部高温区形成催化剂纳米液滴；制备碳化硅的前驱体原料蒸汽通过载带气体进入中部高温区热解，与催化剂纳米液滴结合产生晶核；晶核被气流带至流化管上部低温区，经生长、结晶形成碳化硅纳米线。本发明工艺流程简单，工艺操作便捷，成本低，催化剂为固体颗粒形式，一次可较大量放入也可后期补充，碳化硅纳米线产物可在生产过程中利用负压吸出，实现连续化生产。