一种单片集成多孔硅的相对湿度传感器及其制备方法

摘要

针对现有的湿度传感器结构方面的不足，本发明提供一种单片集成多孔硅相对湿度传感器及其制备方法。所述的湿度传感器包括基体，在基体上设有一对呈梳齿状且相互交错的铝电极，在铝电极的底面与侧壁上均覆盖有氧化隔离层，在铝电极的顶部覆盖有钝化层。在铝电极的梳齿之间区域的基体的顶面上覆盖有多孔硅层。在多孔硅层的顶面上覆盖有氧化层。在氧化层顶部设有多晶硅加热层。所述的制备方法，包括：划片、制备电极槽、制作氧化隔离层、制作铝电极、制作多孔硅层、制备氧化层、制备钝化层和制备多晶硅加热层8个步骤。有益效果：本产品的结构紧凑，灵敏度高。本方法与MEMS工艺相兼容，无需添加额外设备或苛刻工艺条件，成品率高。