一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备

摘要

本实用新型涉及治具技术领域，且公开了一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座和测试底座上的零点底座，所述测试底座上还转动连接有测试机，所述测试机上安装有定位拉钉，所述零点底座上还设置有用于夹持定位拉钉的零点锁紧机构，所述零点锁紧机构包括设置在零点底座上的定位孔，所述定位拉钉用于滑动连接在定位孔的内部，且所述定位拉钉与定位孔相适配。本实用新型通过向上推动连接板，使得连接板抵触在定位拉钉上，从而利用连接板固定定位拉钉，以此减小测试机的震动，提高检测精准度，通过排出空腔内部的空气，使得空腔内部的气压减小，利用弹性部件推动连接板复位，从而实现连接板自动挤压在定位拉钉上。

说明书

技术领域

本实用新型涉及治具技术领域，具体为一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备。

背景技术

随着社会经济的快速发展，在半导体行业中，晶圆测试技术壁垒相当之高其整体测试精度控制更是要求极高，晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片以晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本，在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重要的测试，这步测试是晶圆生产过程的成绩单。在测试过程中，每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。

但是，现有的测试设备在检测晶圆体时，检测设备可能会产生震动，进而影响检测结果，从而造成检测精准度不高的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，具备精准度高的有益效果，解决了上述背景技术中所提到现有的测试设备在检测晶圆体时，检测设备可能会产生震动，进而影响检测结果，从而造成检测精准度不高的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座和测试底座上的零点底座，其特征在于：所述测试底座上还转动连接有测试机，所述测试机上安装有定位拉钉，所述零点底座上还设置有用于夹持定位拉钉的零点锁紧机构；

所述零点锁紧机构包括设置在零点底座上的定位孔，所述定位拉钉用于滑动连接在定位孔的内部，且所述定位拉钉与定位孔相适配，所述零点底座的内部还连接有连接板，所述连接板用于抵触在定位拉钉上。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述连接板与零点底座之间设置有空腔，所述连接板上安装有第二密封板，所述第二密封板与零点底座的内部相贴合，所述连接板上还安装有第一密封板，所述第一密封板与零点底座的内部相贴合，所述零点底座的内部还安装有弹性部件，所述弹性部件与连接板相连接。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述定位拉钉上设置有凹槽，所述连接板上连接有卡球，所述卡球用于连接在凹槽的内部。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述零点底座的底部还安装有气管，所述气管上连接有气管接头，所述气管接头与空腔相连通。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述零点底座上还安装有触摸屏一体机固定板，所述触摸屏一体机固定板上安装有一体机放置盒，所述一体机放置盒的内部安装有一进四出气管汇流板，所述一进四出气管汇流板与气管相连接。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述一体机放置盒上还安装有外接进气管，所述一体机放置盒的内部还安装有电磁阀，所述电磁阀与外接进气管相连接，所述电磁阀上连接有气管快插三通头，所述气管快插三通头的两侧均连接有输送气管，其中一个所述输送气管与一进四出气管汇流板相连接，所述零点底座的内部还安装有光电开关，所述定位拉钉用于抵触在光电开关上，且所述光电开关与电磁阀电信连接。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述定位孔有四个，所述测试机上还安装有锁紧拉钉，所述锁紧拉钉用于卡扣在定位孔的内部。

作为本实用新型所述晶圆测试与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述一体机放置盒的内部安装有触摸屏一体机，所述零点底座上还安装有折叠把手，所述一体机放置盒上还安装有气压力表，其中另一个输送气管与气压力表相连通。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述弹性部件包括弹簧，所述弹簧与连接板相连接。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述弹性部件还包括橡胶块，所述橡胶块与连接板相连接。

本实用新型具备以下有益效果：

1、该晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，通过向上推动连接板，使得连接板抵触在定位拉钉上，从而利用连接板固定定位拉钉，以此减小测试机的震动，提高检测精准度。

2、该晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，通过排出空腔内部的空气，使得空腔内部的气压减小，利用弹性部件推动连接板复位，从而实现连接板自动挤压在定位拉钉上。

3、该晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，通过光电开关和电磁阀的配合，实现了定位拉钉进入定位孔后，触碰到光电开关，则测试机翻转一百八十度到位，断开进气，零点底座锁紧机构自动锁紧。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图。

图2为本实用新型零点底座的剖视图。

图3为本实用新型零点底座的仰视图。

图4为本实用新型一体机放置盒的结构示意图。

图5为本实用新型零点底座的结构示意图。

图中：1、测试底座；2、定位孔；3、测试机；4、定位拉钉；5、零点底座；6、触摸屏一体机；7、触摸屏一体机固定板；8、零点锁紧机构；9、锁紧拉钉；10、折叠把手；11、气管接头；12、气管；13、凹槽；14、电磁阀；15、连接板；16、卡球；17、弹性部件；18、光电开关；19、空腔；20、气管快插三通头；21、一体机放置盒；22、外接进气管；23、气压力表；24、输送气管；25、一进四出气管汇流板；26、第二密封板；27、第一密封板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1-2，一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座1和测试底座1上的零点底座5，测试底座1上还转动连接有测试机3，测试机3上安装有定位拉钉4，零点底座5上还设置有用于夹持定位拉钉4的零点锁紧机构8；

零点锁紧机构8包括设置在零点底座5上的定位孔2，定位拉钉4用于滑动连接在定位孔2的内部，且定位拉钉4与定位孔2相适配，零点底座5的内部还连接有连接板15，连接板15用于抵触在定位拉钉4上，定位孔2有四个，测试机3上还安装有锁紧拉钉9，锁紧拉钉9用于卡扣在定位孔2的内部，触摸屏一体机固定板7上还安装有一体机放置盒21，一体机放置盒21的内部安装有触摸屏一体机6，零点底座5上还安装有折叠把手10。

减小震动：现有的测试设备在检测晶圆体时，检测设备可能会产生震动，进而影响检测结果，从而造成检测精准度不高，因此该装置为了解决检测设备在检测时可能会产生震动的问题在测试机3上安装了定位拉钉4，将晶圆体放置在零点底座5内，根据图2所示，通过向下拉动连接板15，根据图1所示，随后通过旋转测试机3一百八十度，使得测试机3上定位拉钉4旋转插入定位孔2的内部，根据图2所示，向上推动连接板15，使得连接板15抵触在定位拉钉4上，从而利用连接板15固定定位拉钉4，以此减小测试机3的震动，提高检测精准度；

需要特别说明的是，定位拉钉4与定位孔2为配合，使得测试机3能精准的带动定位拉钉4插入在定位孔2的内部。

实施例2

本实施例是在实施例1的基础上做出的改进，具体的，请参阅图1-2，连接板15与零点底座5之间设置有空腔19，连接板15上安装有第二密封板26，第二密封板26与零点底座5的内部相贴合，连接板15上还安装有第一密封板27，第一密封板27与零点底座5的内部相贴合，零点底座5的内部还安装有弹性部件17，弹性部件17与连接板15相连接；

弹性部件17包括弹簧，弹簧与连接板15相连接；

弹性部件17还包括橡胶块，橡胶块与连接板15相连接。

自动挤压：根据图2所示，通过第二密封板26和第一密封板27密封连接板15的上下两端，且第二密封板26和第一密封板27的材质为橡胶，随后通过向空腔19的内部填充空气，当空腔19内部的气压过大时，通过气压挤压连接板15向下滑动，连接板15压缩弹簧，随后当定位拉钉4插入定位孔2的内部后，通过排出空腔19内部的空气，使得空腔19内部的气压减小，利用弹簧推动连接板15复位，从而实现连接板15自动挤压在定位拉钉4上。

实施例3

本实施例是在实施例2的基础上做出的改进，具体的，请参阅图1-2，定位拉钉4上设置有凹槽13，连接板15上连接有卡球16，卡球16用于连接在凹槽13的内部。

固定牢靠：根据图2所示，在定位拉钉4上设置凹槽13，且在连接板15上连接有卡球16，当连接板15向下滑动时，通过定位拉钉4插入定位孔2的内部，定位拉钉4会挤压卡球16向两侧移动，随后通过连接板15向上滑动，使得连接板15会挤压卡球16滑动连接在凹槽13的内部，从而让卡球16卡扣定位拉钉4，以此实现更好的夹持效果，进一步的减小测试机3的震动，提高检测精准度。

实施例4

本实施例是在实施例3的基础上做出的改进，具体的，请参阅图1-5，零点底座5的底部还安装有气管12，气管12上连接有气管接头11，气管接头11与空腔19相连通，零点底座5上还安装有触摸屏一体机固定板7，触摸屏一体机固定板7上安装有一体机放置盒21，一体机放置盒21的内部安装有一进四出气管汇流板25，一进四出气管汇流板25与气管12相连接；

一体机放置盒21上还安装有外接进气管22，一体机放置盒21的内部还安装有电磁阀14，电磁阀14与外接进气管22相连接，电磁阀14上连接有气管快插三通头20，气管快插三通头20的两侧均连接有输送气管24，其中一个输送气管24与一进四出气管汇流板25相连接，零点底座5的内部还安装有光电开关18，定位拉钉4用于抵触在光电开关18上，且光电开关18与电磁阀14电信连接。

精准定位：根据图3和图5所示，通过外接进气管22向电磁阀14输送空气，通过电磁阀14向气管快插三通头20输送空气，气管快插三通头20通过右侧的输送气管24向一进四出气管汇流板25处输送空气，由一进四出气管汇流板25将空气分流入四个气管12的内部，气管12将空气传输至气管接头11处，由气管接头11将空气传输至空腔19的内部，从而实现自动控制连接板15上下滑动，根据图2所示，在定位拉钉4插入定位孔2之间先要向空腔19的内部填充空气挤压连接板15向下滑动，随后当定位拉钉4插入定位孔2的内部时，定位拉钉4会抵触在光电开关18上，其中光电开关18的型号为EZ-D61BG，并且光电开关18与电磁阀14电信连接，使得光电开关18控制电磁阀14打开，进而空腔19内部的空气会通过电磁阀14流出，使得弹簧能推动连接板15向上滑动，利用连接板15和卡球16固定定位拉钉4，从而该装置通过光电开关18和电磁阀14的配合，实现了定位拉钉4进入定位孔2后，触碰到光电开关18，则测试机3翻转一百八十度到位，断开进气，零点底座锁紧机构自动锁紧；

一体机放置盒21上还安装有气压力表23，其中另一个输送气管24与气压力表23相连通，其中气压力表23的型号为DPSN1。

根据图4所示，当气管快插三通头20通过两个输送气管24传输空气时，左侧的输送气管24会将空气传输至气压力表23处，通过气压力表23进行显示气压，进而方便操作人员可以看到气压，说明此时是有进气的，从而确定测试机3在翻转后，零点底座锁紧机构能实现自动锁紧。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。