一种批量化微加工高性能压电驻极体基体的制备方法

摘要

本发明公开了一种批量化微加工高性能压电驻极体基体的制备方法。本发明采用了MEMS微加工工艺，将具有周期性的凸起的刚性模具倒扣在块状的压电驻极体基体材料上，冷却脱模后获得单层压电驻极体基体，然后沿膜厚方向堆积在一起，切割成块后粘接，在膜厚方向上获得多层压电驻极体基体，并且实现了孔洞形貌的一致性和可控性；同时，采用一块刚性模具，一次能够得到数万个压电驻极体基体，刚性模具的重复使用高达数千次以上，从而制备得到的每一个压电驻极体基体的成本不到一块钱，大大地降低了生产成本。