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一种掩膜版刻蚀用防卡板治具

摘要

本实用新型公开了一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,属于掩膜版技术领域,其可至少部分解决现有技术中掩膜版在传动过程中,由于片材较薄,容易被卡在滚轮缝隙中的问题,本实用新型实施例的一种掩膜版刻蚀用防卡板治具,包括防止片材卡入滚轮缝隙的防卡板结构,防卡板结构沿片材的运送方向位于片材的前端位置,防卡板结构包括引导部和用于放置片材的延伸部,引导部与延伸部固定连接,引导部和延伸部的宽度之和大于任意两个滚轮之间的间隙宽度。

著录项

  • 公开/公告号CN216698319U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-06-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 成都拓维高科光电科技有限公司;

    申请/专利号CN202123341660.0

  • 发明设计人 段雪波;郑庆靓;李哲;周俊吉;

    申请日2021-12-28

  • 分类号H01L21/677;H01L21/67;

  • 代理机构成都蓉创智汇知识产权代理有限公司;

  • 代理人游诚华

  • 地址 610000 四川省成都市高新区康强一路1188号

  • 入库时间 2022-08-23 07:19:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-07

    授权

    实用新型专利权授予

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