一种派瑞林镀膜在线膜厚测量装置

摘要

本实用新型涉及在线膜厚测量装置技术领域，且公开了一种派瑞林镀膜在线膜厚测量装置，包括镀膜箱和膜厚控制仪，所述膜厚控制仪通过通信连线连接有探头，所述镀膜箱的内部开设有真空腔室，所述探头位于真空腔室的内部，所述镀膜箱的顶部设置有进气管，所述镀膜箱的底部设置有抽气管，所述探头的底部设置有底板。该派瑞林镀膜在线膜厚测量装置，通过镀膜箱、真空腔室、进气管、抽气管、膜厚控制仪、遮蔽罩、通孔、探头和晶振片之间的相互配合，可根据镀膜目标厚度制备不同k值的遮蔽罩，以实现大厚度镀膜时的在线监控，达到了便于对大厚度的镀膜进行在线监测的效果，解决了现有的在线膜厚测量设备难以对大厚度的镀膜层进行在线监测的问题。