一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法

摘要

一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法，其特征在于该方法设计了一种双臂干涉显微系统。该系统能够将参考反射面与被测物的像呈现在统一位置，从而使其发生干涉。干涉所形成的光谱或条纹可以映射出被测点处的光程差。被测物下方安装有压电驱动的旋转/扫描平台，可以实现1nm精度的横向扫描和360度旋转。通过差分采集方法，可以获得超高分辨率一维方向上的光程投影。然后对样品进行旋转，采集多个角度下样品的光程投影，可以重构出三维超高分辨率图像。